에천트의 종류는 무엇이 있나요?

에천트의 종류는 무엇이 있나요?

승인된 답변

에치 방법의 종류

에칭의 종류는 다음과 같습니다:

  • 습식 식각 (Wet etch): 액체용액을 이용한 식각 방식
  • 건식 식각 (Dry etch): 주로 플라즈마 식각을 이용한 증기형 식각 방법
  • 등방식각 (Isotropic etch): 모든 방향에서 식각 속도가 동일한 방식
위로 스크롤