아르곤 플라즈마의 원리는 무엇인가요?
승인된 답변
아르곤 플라즈마의 작용 원리
아르곤 플라즈마는 화학적 반응을 통해 오염 물질을 제거하는 산소 플라즈마와는 다르게, 고에너지와 높은 질량을 지닌 Ar+ 이온들이 소재의 표면에 직접적으로 타격을 가합니다. 이러한 이온 포격 방식으로 오염물질이 소재 표면에서 제거되며, 물리적 박리 과정을 통해 세정이 이루어집니다. 이 과정에서 화학적 변화는 거의 발생하지 않습니다.
아르곤 플라즈마의 원리는 무엇인가요?
아르곤 플라즈마는 화학적 반응을 통해 오염 물질을 제거하는 산소 플라즈마와는 다르게, 고에너지와 높은 질량을 지닌 Ar+ 이온들이 소재의 표면에 직접적으로 타격을 가합니다. 이러한 이온 포격 방식으로 오염물질이 소재 표면에서 제거되며, 물리적 박리 과정을 통해 세정이 이루어집니다. 이 과정에서 화학적 변화는 거의 발생하지 않습니다.