아르곤 플라즈마의 온도는 얼마인가요?
승인된 답변
아르곤 플라즈마의 특성
아르곤(10 lpm) 플라즈마는 420 V의 전리전압과 470 K의 회전온도(300 W)를 갖습니다. 산소가 혼합될 경우(0 ~ 10 sccm), 전리전압은 435 V에서 450 V로, 회전온도는 490 K에서 570 K로 상승합니다.
아르곤 플라즈마의 온도는 얼마인가요?
아르곤(10 lpm) 플라즈마는 420 V의 전리전압과 470 K의 회전온도(300 W)를 갖습니다. 산소가 혼합될 경우(0 ~ 10 sccm), 전리전압은 435 V에서 450 V로, 회전온도는 490 K에서 570 K로 상승합니다.