반도체 FOUP는 무엇입니까?

승인된 답변

FOUP의 정의

FOUP은 웨이퍼를 안전하게 보관하고 이동할 수 있도록 설계된 용기입니다. 쉽게 말해, 이는 웨이퍼 전용 배송 상자라고 할 수 있습니다. 이 상자를 필요한 장소로 옮겨주는 차량이 바로 OHT입니다. OHT는 반도체 Fab 내부에서 가장 두드러진 장비 중 하나입니다.